| 摘要 |
Durch die vorliegende Erfindung wird eine Durchflußüberwachungseinrichtung (10, 120, 130, 150, 160, 170, 180, 190, 600, 700, 800) zum Erfassen molekularer Verunreinigungen in einem Fluidstrom bereitgestellt. Die Überwachungseinrichtung weist eine Difussionskammer (19) mit einem Einlaßport (32) und einem Auslaßport (24, 46) und eine Struktur (38A, 22A) zum Leiten eines Fluidstroms vom Einlaßport zum Auslaßport auf. Die Struktur weist eine Düse (38A) und einen Port (22A) mit einem Zwischenraum dazwischen auf, um zu ermöglichen, daß molekulare Verunreinigungen in die Diffusionskammer diffundieren können, während für eine Fluiddurchflußrate, die einen vorgegebenen Wert überschreitet, im wesentlichen verhindert wird, daß partikelförmige Verunreinigungen im Fluid in die Diffusionskammer eintreten. Eine SAW-Vorrichtung (56) erfaßt molekulare Verunreinigungen im Inneren der Diffusionskammer. Der Durchflußüberwachungseinrichtung zugeführtes Fluid kann mit einem reinen Fluid verdünnt werden, um ihre Lebensdauer zu verlängern. Ein Sammelprobenannahmesystem (190) ist mit einem Misch-Manifold (500) strömungsaufwärts von der Durchflußüberwachungseinrichtung verbunden. Ein System (700) für einen getriggerten Probennahmevorgang ist mit einem Probenvorkonzentrator (714) strömungsabwärts von der Durchflußüberwachungseinrichtung verbunden. |
