| 发明名称 |
ENVIRONMENTAL SEM WITH A MAGNETIC FIELD FOR IMPROVED SECONDARY ELECTRON DETECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0958591(B1) |
申请公布日期 |
2004.02.04 |
| 申请号 |
EP19980946673 |
申请日期 |
1998.10.19 |
| 申请人 |
FEI COMPANY |
发明人 |
VAN DER MAST, KAREL, DIEDERICK |
| 分类号 |
H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/244 |
主分类号 |
H01J37/244 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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