| 主权项 |
1.一种感光性树脂组成物,含有硷溶性树脂和具有二叠氮基之感光剂,其中硷溶性树脂为一种丙烯酸树脂,而感光树脂组成物尚含一种以通式(I)所代表之酚化合物:其中R1.R2.R3.R4.R5.R6和R7独立代表H、C1-4烷基或m和n独立代表0至2之整数,a、b、c、d、e、f、g和h各为0至5之整数而满足a+b≦5,c+d≦5,e+f≦5和g+h≦5等条件,且i为0至2之整数。2.如申请专利范围第1项之感光性树脂组成物,其中丙烯酸树脂含有一种衍生自(甲基)丙烯酸烷酯之构成单元和一种衍生自(甲基)丙烯酸之构成单元。3.如申请专利范围第1或2项之感光性树脂组成物,其中丙烯酸树脂包含5至30莫耳%衍生自(甲基)丙烯酸之构成单元。4.如申请专利范围第1或2项之感光性树脂组成物,其中具有二叠氮基之感光剂为由如上通式(I)所代表之化合物与一种二叠氮化合物之反应生成物。5.如申请专利范围第1或2项之感光性树脂组成物,其中由通式(I)所代表之酚化合物为由式(Ⅱ)所代表之化合物:6.如申请专利范围第1或2项之感光性树脂组成物,其中丙烯酸树脂之平均分子量以聚苯乙烯为标准而测定者为20,000至40,000。7.如申请专利范围第1项之感光性树脂组成物,包含一种具有环氧基之硬化剂。8.如申请专利范围第2项之感光性树脂组成物,包含一种具有环氧基之硬化剂。9.如申请专利范围第7或8项之感光性树脂组成物,其中具有环氧基之硬化剂是一种三官能基之环氧树脂。10.如申请专利范围第1或2项之感光性树脂组成物,其应用于具有平坦化薄膜或中间层介电膜之平板显示器。11.如申请专利范围第1或2项之感光性树脂组成物,其应用于具有一种平坦化薄膜或中间层介电膜之半导体装置。12.如申请专利范围第1或2项之感光性树脂组成物,其应用于形成耐热薄膜之方法,包含使图案化,随后作后烘烤而无用平面曝光。13.如申请专利范围第7或8项之感光性树脂组成物,其应用于形成耐热薄膜之方法,包含使图案化,随后作平面曝光,继予后烘烤。 |
