测量带电粒子束分布的方法以及其它相关方法

摘要

用法拉第检测器阵列分别测量Z坐标上的两个点Z_f和Z_b上沿扫描方向(X轴方向)的粒子束电流密度分布。利用这样测量到的电流密度分布，通过内插法得到工件Z坐标任意位置上粒子束扫描方向上的电流密度分布。使用这样得到的电流密度分布，对粒子束的扫描电压V(t)的波形进行矫正，从而，在电流密度需要提高的位置相对降低粒子束的扫描速度，而在电流密度需要降低的位置相对提高粒子束的扫描速度。综上所述，将工件Z坐标任意位置上的粒子束扫描方向上的电流密度分布调整到所需的分布。

主权项

1.一种测量带电粒子束分布的方法，用于一种装置，在该装置中在工件沿Y轴进行机械往复运动以及在带电离子束沿基本上垂直于Y轴的Z轴往复行进并且进行电磁扫描时对所说工件进行照射，并且将形成于所说工件的表面和Y轴之间的倾斜角设定为一个大于0°的值，所述的测量带电粒子束分布的方法包括以下步骤：测量Z坐标第一位置处带电粒子束扫描方向上的第一电流密度分布，同时测量Z坐标第二位置处带电粒子束扫描方向上的第二电流密度分布；以及通过使用上述第一和第二电流密度分布，利用内插法或外推法得到Z坐标任意位置上沿所述带电粒子束扫描方向上的电流密度分布。