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发明名称 THIN FILMS MEASUREMENT METHOD AND SYSTEM
摘要
申请公布号 AU2003238662(A1) 申请公布日期 2004.01.19
申请号 AU20030238662 申请日期 2003.06.26
申请人 NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. 发明人 YOEL COHEN;MOSHE FINAROV;KLARA VINOKUR
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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