发明名称 | 阳极化装置,阳极化方法 | ||
摘要 | 以被处理基板作为阳极且对此实施光线之照射进行电化学处理之阳极化装置及阳极化方法中,可以藉由更小型之构成要素处理大型被处理基板。以多数之接触构件进行、或以接触构件之移动进行改变位置,实施藉由接触构件对被处理基板之电性接触。被处理基板系分别由接触构件之接触部可以连接于其被处理部之一部份之导电层之方式预先制作。使用该被处理基板与接触构件之组合,以藉由切换开关方式使其仅通电于一部份之接触构件,或者,以藉由接触构件之移动,对被处理基板之一部份之导电层进行对接触构件之通电,将处理所需之电流值,仅须对应于被处理基板之一部份之量即可。 | ||
申请公布号 | TW200401361 | 申请公布日期 | 2004.01.16 |
申请号 | TW092101240 | 申请日期 | 2003.01.21 |
申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 八木靖司;青木一二;牛岛满 |
分类号 | H01L21/306 | 主分类号 | H01L21/306 |
代理机构 | 代理人 | 陈长文 | |
主权项 | |||
地址 | 日本 |