投影光学系统,曝光装置,以及元件制造方法

摘要

提供一种在两侧大致为远心，一面确保足够大的数值孔径及足够宽广的成像区域，一面使包括失真的诸像差被良好地修正，简洁而高性能的投影光学系统。是一种将第1物体）（R）的图案像形成于第2物体）（W）上的投影光学系统。投影光学系统由具有1．6以下的折射率之光学材料而形成，在第1物体侧及上述第2物体侧两处为实质上的远心。而且，当设光的波长为λ，第1物体与第2物体的距离为L，第2物体侧的数值孔径为NA，在第2物体上的最大像高为Y0时，满足（λL）／（NA×Y0^2）＜1．5×10^–3之条件。