水溶性树脂组合物

摘要

一种水溶性树脂组合物，其中包含有(1)水溶性树脂，(2)水溶性交联剂，(3)表面活性剂，它至少选自下列物质之一，炔属醇类，乙炔二醇类，炔属醇的乙氧基化物和乙炔二醇的乙氧基化物，以及(4)溶剂，该溶剂可以是水或一个由水与一个水溶性溶剂所组成的混合物。将该水溶性树脂组合物涂敷在光致抗蚀图案上，接着加热并通过抗蚀(剂)层提供的酸使其交联化，然后通过显影(冲洗)除去未交联化的水溶性树脂涂层，该水溶性树脂组合物具有在抗蚀图案上面的涂敷性能，而且在制作精致图案时具有优良的尺寸调节性能。因此，可以使抗蚀图案，例如沟槽图案与孔穴图案有效地得到精致。

主权项

1.一个包含有水溶性树脂，水溶性交联剂，表面活性剂和溶剂的水溶性树脂组合物，并且它能在有酸的情况下发生交联化反应，其中该水溶性树脂选自下列物质至少之一：聚乙烯乙缩醛，聚乙烯醇；该水溶性交联剂选自下列物质至少之一：蜜胺基低分子衍生物，胍胺基低分子衍生物，脲基低分子衍生物，甘脲，烷氧基烷基化的氨基树脂，并且该水溶性交联剂相对于100重量份的水溶性树脂以1～70份重量结合加入；该表面活性剂选自下列物质至少之一：炔属醇类，乙炔二醇类，炔属醇的聚乙氧基化物，乙炔二醇的聚乙氧基化物，并且在上述水溶性树脂组合物中的表面活性剂含量是50-2,000ppm。