| 主权项 |
1.一种主动式有机电致发光显示器的制作方法，其包含有下列步骤：提供一透明绝缘衬底；于该透明绝缘衬底上形成一第一金属层，并利用第一道光刻蚀刻工艺将该第一金属层定义形成一沿X方向延伸的第一扫描线、一电容器的下电极以及一沿X方向延伸的第二扫描线的图形；依序于该透明绝缘衬底的整个表面上形成一栅极绝缘层、一非晶硅层以及一掺杂非晶硅层；利用第二道光刻蚀刻工艺，将该第一、第二扫描线的预定非晶硅TFT元件区域内的该非晶硅层以及该掺杂非晶硅层定义形成一第一、第二岛状结构，并将该第二扫描线的预定非晶硅TFT元件区域以外的该非晶硅层以及该掺杂非晶硅层去除；利用第三道光刻蚀刻工艺，将该第二扫描线的预定非晶硅TFT元件区域以外的部分该栅极绝缘层去除，以形成一通孔；于该透明绝缘衬底的整个表面上形成一透明导电层，并利用第四道光刻蚀刻工艺，将该透明导电层定义形成一显示区域的图案；于该透明绝缘衬底的整个表面上形成一第二金属层，并利用第五道光刻蚀刻工艺使该第二金属层定义形成一沿Y方向延伸的数据线以及一电容器的上电极，并使该第二金属层覆盖第一、第二岛状结构，其中该第一、第二岛状结构上方分别形成一第一、第二开口直至使该非晶硅层的表面暴露，其中该开口可使该第二金属层区分成一源/漏极区，使该掺杂非晶硅层区分成一源/漏极扩散区；以及于该透明绝缘衬底的整个表面上形成一保护层，并利用第六道掩膜将覆盖住该显示区域的该保护层去除。 |
