发明名称 T-BUTYL CINNAMATE POLYMERS AND THEIR USE IN PHOTORESIST COMPOSITIONS
摘要
申请公布号 KR20030097774(A) 申请公布日期 2003.12.31
申请号 KR20037000718 申请日期 2003.01.17
申请人 发明人
分类号 G03F7/004;C08F212/14;C08F220/12;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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