| 发明名称 | 液相外延生长薄膜的衬底夹具 | ||
| 摘要 | 一种用于液相外延薄膜生长的衬底夹其，其特征在于它是由一衬底夹盘的顶面过圆心垂直向上接设一连接杆构成，该衬底夹盘的底面设有半圆弧形包边形成一衬底定位腔，与该半圆弧形包边相对在该衬底夹盘上设有定位通孔，该连接杆上端还设有一通孔。本实用新型的液相外延薄膜生长衬底夹具使衬底在溶液中可作高速旋转，既能起到搅拌作用，使衬底周围各处溶液浓度更趋于平衡和均匀，又可解决温场不均匀带来的生长差异。本实用新型液相外延薄膜生长的衬底夹具结构简单，安装方便，使用可靠。 | ||
| 申请公布号 | CN2594282Y | 申请公布日期 | 2003.12.24 |
| 申请号 | CN03228088.2 | 申请日期 | 2003.01.10 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 赵广军;何晓明;徐军;王海丽;刘军芳 |
| 分类号 | C30B19/12 | 主分类号 | C30B19/12 |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 1、一种用于液相外延薄膜生长的衬底夹具，其特征在于它是由一衬底夹盘(2)的顶面过圆心垂直向上接设一连接杆(1)构成，该衬底夹盘(2)的底面设有半圆弧形包边(3)形成一衬底定位腔(4)，与该半圆弧形包边(3)相对在该衬底夹盘(2)上设有定位通孔(5)，该连接杆(1)上端还设有一通孔(11)。 | ||
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||