| 摘要 |
<p>Die Erfindung schafft ein Verfahren zur Vermessung der Verzerrung einer Flächen-Positioniervorrichtung, insbesondere einer für einen Bestückautomaten verwendeten Positioniervorrichtung. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird mittels der Flächen-Positioniervorrichtung eine Relativbewegung zwischen einer Kamera und einem Bestückfeld erzeugt. Erfindungsgemäß werden nur lokale Verzerrungen an ausgewählten Positionen gemessen, indem jeweils der vektorielle Abstand zwischen der Position einer Referenzmarke 101, welche mittels der Kamera erfasst wird, und einer durch den entsprechenden Verfahrweg der Positioniervorrichtung bestimmten Messposition ermittelt wird. Die lokalen Verzerrungen an anderen Positionen werden durch jeweils eine geeignete Superposition von gemessenen lokalen Verzerrungen berechnet. Auf diese Weise kann die lokale Verzerrung über einen größeren Bestückbereich durch eine relativ geringe Anzahl von gemessenen lokalen Verzerrungen ohne Informationsverlust rekonstruiert werden. Bei der Rekonstruktion der lokalen Verzerrung in dem gesamten Bestückbereich kann zur Reduktion des Messrauschens eine Polynomapproximation verwendet werden.</p> |
