发明名称 | 用于校准元件的装置和方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种用于校准元件的装置。该装置包括光源;用于向元件一侧散射从光源发射的光的散射板;用于聚焦已通过元件的散射光的聚焦透镜;以及用于接收来自聚焦透镜的聚焦光以检测元件的一侧图像的光检测器。 | ||
申请公布号 | CN1131415C | 申请公布日期 | 2003.12.17 |
申请号 | CN99119092.0 | 申请日期 | 1999.09.15 |
申请人 | 三星航空产业株式会社 | 发明人 | 金相哲 |
分类号 | G01B11/00;H05K13/04 | 主分类号 | G01B11/00 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 姜丽楼 |
主权项 | 1、一种用于校准元件的装置,其特征在于,它包括:光源;用于向元件一侧散射从光源发射的光的散射板;用于聚焦已通过元件的散射光的聚焦透镜;以及用于接收来自聚焦透镜的聚焦光以检测元件的一侧图像的光检测器。 | ||
地址 | 韩国庆尚南道 |