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发明名称 SLOTTED FLOW RESTRICTOR FOR A MASS FLOW METER
摘要 A flow restrictor (30) for a mass flow metering device formed of a solid material and slots (32) originating from an outer surface towards inward.
申请公布号 WO03100356(A1) 申请公布日期 2003.12.04
申请号 WO2003US16493 申请日期 2003.05.23
申请人 MYKROLIS CORPORATION;TISON, STUART, A.;WU, GUANGHUA;GILL, TRACY;LOPEZ, VINCENT 发明人 TISON, STUART, A.;WU, GUANGHUA;GILL, TRACY;LOPEZ, VINCENT
分类号 G01F1/00;F15D1/02;G01F1/22;G01F1/40;G01F1/42;G01F1/48;(IPC1-7):G01F1/37 主分类号 G01F1/00
代理机构 代理人
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