| 发明名称 | 等离子体处理装置 | ||
| 摘要 | 一种具有放射线槽天线的微波等离子体处理装置，可抑制异常放电，提高微波等离子体的激发效率。在放射线槽天线与同轴波导管的连接部中，使同轴波导管中的供电线前端部离开构成辐射面的槽板。 | ||
| 申请公布号 | CN1460287A | 申请公布日期 | 2003.12.03 |
| 申请号 | CN02800920.7 | 申请日期 | 2002.03.28 |
| 申请人 | 大见忠弘;东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 大见忠弘;平山昌树;须川成利;后藤哲也;本乡俊明 |
| 分类号 | H01L21/31;H05H1/46;H01L21/3065 | 主分类号 | H01L21/31 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳;张英光 |
| 主权项 | 1.一种等离子体处理装置，其特征在于：由：通过外壁围成、并具备保持被处理基板的保持台的处理容器；与所述处理容器连接的排气系统；向所述处理容器中供给等离子体气体的等离子体气体供给部；对应于所述等离子体气体供给部设置在所述处理容器上、通过同轴波导管供电的微波天线；和通过所述同轴波导管与所述微波天线电连接的微波电源；构成，由形成微波辐射面的第1外表面和与所述第1外表面相对的第2外表面来围成所述微波天线，构成所述同轴波导管的外侧波导管连接于所述第2外表面，构成所述同轴波导管的中心导体的前端部离开所述第1外表面，与所述第1外表面电容耦合。 | ||
| 地址 | 日本宫城县 | ||