| 发明名称 | 制程反应室视窗改良 | ||
| 摘要 | 一种制程反应室视窗改良，至少包含，一环形垫圈，位于视窗开口周围的反应室主体外壁上，一石英材质视窗，压覆于环形垫圈上，一缓冲垫，压覆于石英视窗上，此一缓冲垫具有与该石英视窗同形的一开口，且开口的面积小于石英材质视窗的面积，一观看窗，压覆于缓冲垫之上，一固定架，压覆于观看窗之上。反应室主体、缓冲垫，观看窗和固定架均具有复数个螺孔位于相对应的位置，可藉由复数个螺栓穿过螺孔而将环形垫圈、石英视窗、缓冲垫、观看窗和固定架固定于反应室主体之上。 | ||
| 申请公布号 | CN1459830A | 申请公布日期 | 2003.12.03 |
| 申请号 | CN02120108.0 | 申请日期 | 2002.05.17 |
| 申请人 | 矽统科技股份有限公司 | 发明人 | 陈庆任;陈明元;吕水烟;刘德国 |
| 分类号 | H01L21/3065;H05H1/00 | 主分类号 | H01L21/3065 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
| 主权项 | 1.一种制程反应室视窗改良装置，其特征在于，该制程反应室视窗包括一石英材质视窗，该装置至少包含：一缓冲垫，压覆于该石英材质视窗上，其中，该缓冲垫具有复数个螺孔，可藉由复数个螺栓穿过该些螺孔而将该缓冲垫固定于该电浆制程反应室的视窗上。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹 | ||