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发明名称 IONIZED PVD WITH SEQUENTIAL DEPOSITION AND ETCHING
摘要
申请公布号 KR20030092126(A) 申请公布日期 2003.12.03
申请号 KR20037014325 申请日期 2003.11.03
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;H01L21/203;C23C14/04;C23C14/35;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/285;H01L21/3213;H01L21/768 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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