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发明名称 Composition for the chemical mechanical polishing of metal- and metal-dielectric structures with a high selectivity
摘要
申请公布号 EP1306415(A3) 申请公布日期 2003.12.03
申请号 EP20020022977 申请日期 2002.10.14
申请人 BAYER AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 PUPPE, LOTHAR, DR.;PASSING, GERD, DR.;VOGT, KRISTINA, DR.;TERZIEVA, VALENTINA, DR.
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/321;(IPC1-7):C09G1/02 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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