新型大位移精密微动工作台

摘要

新型大位移精密微动工作台，包括本体、叠层陶瓷、微动平台，其特征在于微动平台由柔性铰链与放大元连接；所述放大元由一对边为圆弧形，另一对边为平行的封闭金属薄板框架和与之内接的叠层陶瓷组成，叠层陶瓷连接电源线；放大元的两弧形板经柔性铰链分别与微动平台和本体连接；微动平台与放大元平行方向还设有弹性平行导板。本实用新型的放大元利用弧形板的形变，获得一大位移输出，由叠层陶瓷实现微动平台的高分辨率、高频响；还采用柔性铰链及弹性平行导板结构。具有分辨率高、精度高、位移输出比大等特点，而且具有结构紧凑、体积小，对装配精度要求不高、造价低、可靠性强等优点。

主权项

1.新型大位移精密微动工作台，包括本体、叠层陶瓷、微动平台，其特征在于微动平台由柔性铰链与放大元连接；所述放大元由一对边为弧形，另一对边为平行的封闭金属板框架和与之内接的叠层陶瓷组成，叠层陶瓷连接电源线；放大元的两弧形板经柔性铰链分别与微动平台和本体连接；微动平台与放大元平行方向还设有弹性平行导板。