| 主权项 |
1.一种流体加热装置,其特征为,至少具备有:加热管,用以加热从流体供应源提供的流体;发热部,以螺旋状形成于上述加热管的外周围;以及外壳,用以收容有上述加热管与发热部,上述发热部系由石墨线发热体、以及封入上述石墨线发热体的石英玻璃管所构成。2.如申请专利范围第1项之流体加热装置,其中上述加热管内部配设有作为通过流体之阻抗的充填物。3.如申请专利范围第2项之流体加热装置,其中上述充填物系由融焊之短柱状的石英玻璃串珠形成的成形体,或者由连通的细孔形成的多孔质石英玻璃成形体所构成。4.如申请专利范围第3项之流体加热装置,其中由融焊之短柱状的石英玻璃串珠形成的上述成形体,系为将直径6~12mm、长度6~12mm的串珠,与直径4~10mm、长度4~10mm的串珠的大小二种类的串珠,以数量比1:4~4:1的比例混合,并藉由融焊而形成的成形体。5.如申请专利范围第2项之流体加热装置,其中上述充填物系由多个石英玻璃管所构成。6.如申请专利范围第2项之流体加热装置,其中上述充填物系由具有多个开孔部的石英玻璃制的玻璃扩散板所构成。7.如申请专利范围第6项之流体加热装置,其中上述加热管的内部收容有多片上述玻璃扩散板,且至少在相邻的玻璃扩散板的开孔部不会形成一致的构造。8.如申请专利范围第1项之流体加热装置,其中在上述发热部与外壳间的空间部充填有高纯度绝热材料。9.如申请专利范围第1项之流体加热装置,其中上述加热管与发热部收容在设置于外壳内的热遮蔽体内。10.如申请专利范围第9项之流体加热装置,其中上述热遮蔽体为筒状,并至少在其内表面形成含有微细氧化矽粉末与微细氧化铝粉末的反射绝热覆被膜。11.如申请专利范围第10项之流体加热装置,其中上述反射绝热覆被膜,系由配合比为3:1容量部~3:7容量部的微细氧化矽粉末与微细氧化铝粉末的合成物所构成。12.如申请专利范围第11项之流体加热装置,其中上述反射绝热覆被膜又含有微细氧化钛粉末。13.如申请专利范围第11项之流体加热装置,其中上述反射绝热覆被膜的膜厚在30m~200m的范围内。14.如申请专利范围第11项之流体加热装置,其中在上述热遮蔽体与外壳间的空间部充填有高纯度绝热材料。15.如申请专利范围第1项之流体加热装置,其中上述石墨线发热体,系为将直径5m~15m的石墨纤维扎束形成的多束纤维束经编织形成的编扭形状,或者为组扭形状的石墨线发热体。16.如申请专利范围第15项之流体加热装置,其中上述石墨线发热体的作为石墨纤维的杂质含有量的灰分重量在10ppm以下。17.如申请专利范围第16项之流体加热装置,其中在上述加热管的内部配设有部分融焊多个石英玻璃串珠而形成的多孔质成形体。18.如申请专利范围第17项之流体加热装置,其中上述加热管与发热部收容在设于外壳内的绝热材料内。图式简单说明:图1为本发明之流体加热装置(气体加热装置)之一实施形态的示意图,图1(a)为侧面剖面图,图1(b)为沿着图1(a)中之A-A线所作的剖面图。图2为图1所示之气体加热装置使用之加热管以及充填物的示意图,图2(a)为融焊之短柱状的石英串珠形成的充填物,图2(b)为发泡石英玻璃上形成有连通细孔的多孔质石英玻璃充填物。图3为图1所示之气体加热装置使用之加热管与其他充填物的示意图,图3(a)为由石英管构成的充填物的示意图,图3(b)为图3(a)的前视图。图4为图1所示之气体加热装置使用之加热管以及其他充填物的示意图,图4(a)为将由石英构成的气体扩散板作为充填物的示意图,图4(b)为图4(a)的前视图。图5为图1所示之气体加热装置之发热部使用之加热管之结构的示意图,图5(a)为侧面局部剖面图,图5(b)为俯视图。图6为显示图1所示之气体加热装置之密封端子部的结构的立体图。图7为显示图1所示之气体加热装置之其他密封端子部的结构的立体图。图8为显示图1所示之气体加热装置之石墨线发热体的概略图。图9为本发明之气体加热装置之与半导体加热处理炉连接的连接构造的一例的示意图。图10为显示图1所示之气体加热装置之热遮蔽体的结构的立体图。图11为显示关于扩散炉之操作所实施之升降温度-时间图表的折线曲线图。图12为不具气体预热装置之习知之纵型分批式氧化反应炉之一例的示意图。图13为配设习知型之气体预热装置之纵型分批式氧化反应炉之一例的示意图。图14为配设有习知型之气体预热装置之单片式生成炉之外延薄膜气相成长装置之一例的示意图。图15为显示图11之装置之气体预热装置构造的概略图。图16为本发明之气体加热装置之其他实施形态(实施例所使用之形态)的示意图。 |
