| 主权项 |
1.一种具防震设计之垂直式炉管,使用于半导体前段制程中,包括:一承载基座,其上设有三个或三个以上之定位孔穴,该等定位孔穴系同心地设置于该承载基座上;一保温筒,系设置于该承载基座上,该保温筒具有一设于其顶端之承座、一由该承座向上延伸之第一管体,其具有一预定直径,以及一由其底部向外凸出之下方突缘;三个或三个以上之固定装置,系分别设置于该等定位孔穴上,用以夹持该保温筒之下方突缘;一石英晶舟,系具有一由其底部向下延伸之第二管体,其具有一预定直径,其中该第一管体嵌合于该第二管体;及一外管,系包覆该承载基座、该保温筒、该等固定装置,及该石英晶舟于其内;藉此限制该石英晶舟不受外力影响而摇摆或倾斜。2.如申请专利范围第1项所述之具防震设计之垂直式炉管,其中该定位孔穴之深度约为1公厘。3.如申请专利范围第1项所述之具防震设计之垂直式炉管,其中该等固定装置各具有一保温筒定位块,以及一螺杆,该螺杆固定该保温定位块于该定位孔穴上。4.如申请专利范围第3项所述之具防震设计之垂直式炉管,其中该承载基座具有三个或三个以上之螺孔,该等螺孔系分别设置于该定位孔穴之底端,该螺杆系固定于该螺孔内。5.如申请专利范围第3项所述之具防震设计之垂直式炉管,其中该等保温筒定位块各包括一由其底部向下凸出之底部卡块,该底部卡块系卡合于该定位孔穴上,以及一由其上方向一侧凸出之固定突缘,用以夹持该保温筒之下方突缘。6.如申请专利范围第5项所述之具防震设计之垂直式炉管,该保温筒定位块进一步具有一基座突缘,该基座突缘系设于该底部卡块与该固定突缘之间。7.如申请专利范围第1项所述之具防震设计之垂直式炉管,其中该石英晶舟之第二管体的直径大于该保温筒之第一管体的直径而嵌合于其外缘。8.如申请专利范围第1项所述之具防震设计之垂直式炉管,其中该石英晶舟之第二管体的直径小于该保温筒之第一管体的直径而嵌合于其内侧。9.如申请专利范围第1项所述之具防震设计之垂直式炉管,其中该外管具有一由其底部向外凸出之突缘。10.如申请专利范围第9项所述之具防震设计之垂直式炉管,进一步具有一固定压块,以及一螺杆,该固定压块设有一螺孔,该固定压块夹持该外管之突缘于该承载基座上,该螺杆穿过该螺孔并且固定该固定压块于该承载基座上。11.一种具防震设计之垂直式炉管,用于半导体前段制程中,包括:一承载基座,其上设有三个或三个以上之定位孔穴,该等定位孔穴系同心地设置于该承载基座上;一保温筒,设置于该承载基座上,该保温筒具有一由其底部向外突出之下方突缘;三个或三个以上之固定装置,系分别设置于该等定位孔穴上,用以夹持该保温筒之下方突缘;一石英晶舟,系垂直嵌合于该保温筒上方;及一外管,系包覆该承载基座、该保温筒、该等固定装置,及该石英晶舟于其内;藉此限制该石英晶舟不受外力影响而摇摆或倾斜。12.如申请专利范围第11项所述之具防震设计之垂直式炉管,其中该定位孔穴之深度约为1公厘。13.如申请专利范围第11项所述之具防震设计之垂直式炉管,其中该等固定装置各具有一保温筒定位块及一螺杆,该螺杆固定该保温定位块于定位孔穴上。14.如申请专利范围第13项所述之具防震设计之垂直式炉管,其中该承载基座具有三个或三个以上之螺孔,该等螺孔系分别设置于该定位孔穴之底端,该螺杆系固定于该螺孔内。15.如申请专利范围第13项所述之具防震设计之垂直式炉管,其中该等保温筒定位块各包括一由其底部凸出之底部卡块,该底部卡块系卡合于该定位孔穴上,以及一由其上方向一侧凸出之固定突缘,用以夹持该保温筒之下方突缘。16.如申请专利范围第15项所述之具防震设计之垂直式炉管,该保温筒定位块进一步具有一基座突缘,该基座突缘设于该底部卡块与该固定突缘之间。17.如申请专利范围第11项所述之具防震设计之垂直式炉管,其中该保温筒具有一设于其顶端之承座,一由该承座向上延伸的第一管体,其具有一预定直径,以及一由其底部向外凸出之下方突缘;该石英晶舟具有一由其底部向下延伸之第二管体,其具有一预定直径,其中该第一管体嵌合于该第二管体;藉此限制该石英晶舟不受外力影响而摇摆或倾斜。18.如申请专利范围第17项所述之具防震设计之垂直式炉管,其中该石英晶舟之第二管体的直径大于该保温筒之第一管体的直径而嵌合于其外缘。19.如申请专利范围第17项所述之具防震设计之垂直式炉管,其中该石英晶舟之第二管体的直径小于该保温筒之第一管体的直径而嵌合于其内侧。20.如申请专利范围第11项所述之具防震设计之垂直式炉管,其中该外管具有一由其底部向外凸出之突缘。21.如申请专利范围第11项所述之具防震设计之垂直式炉管,进一步具有一固定压块,以及一螺杆,该固定压块设有一螺孔,该固定压块夹持该外管之突缘于该承载基座上,该螺杆穿过该螺孔且固定该固定压块于该承载基座上。图式简单说明:第一图 系本创作中石英晶舟和保温筒的立体分解图。第二图 系本创作中固定装置组装完成之立体图。第三图 系本创作中石英晶舟和保温筒组合后之立体图。第四图 系本创作中石英晶舟和保温筒组合后之剖面图。第五图 系第四图沿5-5线之切面图。第六图 系本创作中固定装置的另一实施例之立体图。第七图 系第六图相同于第五图之视角的切面图。第八图 本创作之垂直式炉管组装完成后的剖面图。 |
