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发明名称 Method and apparatus for shaping thin films in the near-edge regions of in-process semiconductor substrates
摘要
申请公布号 AU2003225127(A8) 申请公布日期 2003.11.10
申请号 AU20030225127 申请日期 2003.04.24
申请人 ACCRETECH USA, INC. 发明人 MICHAEL D. ROBBINS
分类号 H01L21/3065;H01L21/00;H01L21/31;H01L21/311;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/461 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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