| 发明名称 |
SYSTEM FOR CONVEYING LIQUIDS WITHOUT PULSING |
| 摘要 |
<p>A system tot the pulsation-free delivery of liquids, which system may be used for high-purity, liquid chemicals in the semiconductor industry.</p> |
| 申请公布号 |
EP1141611(B1) |
申请公布日期 |
2003.11.05 |
| 申请号 |
EP19990957334 |
申请日期 |
1999.12.02 |
| 申请人 |
MERCK PATENT GMBH |
发明人 |
DUSEMUND, CLAUS;FREISSLER, KLAUS;JAMMER, WILFRIED;POTH, MICHAEL;DIX, ALBERTO;TEMPEL, EBERHARD |
| 分类号 |
F04B11/00;F04B9/129;F17D1/12;H01L21/02;(IPC1-7):F16L55/04;F16L55/05 |
主分类号 |
F04B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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