| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR THE METERED DELIVERY OF LOW VOLUMETRIC FLOWS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1358364(A2) |
申请公布日期 |
2003.11.05 |
| 申请号 |
EP20010989461 |
申请日期 |
2001.11.10 |
| 申请人 |
AIXTRON AG |
发明人 |
STRAUCH, GERD;JAKOB, MARKUS;LINDNER, JOHANNES |
| 分类号 |
B05B9/04;C23C16/448;C23C16/52;G05D7/06;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/448;G05D7/00;G05D7/03 |
主分类号 |
B05B9/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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