| 发明名称 |
FREQUENCY CHARACTERISTICS MEASURING METHOD AND DEVICE FOR ACCELERATION SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003221067(A1) |
申请公布日期 |
2003.10.27 |
| 申请号 |
AU20030221067 |
申请日期 |
2003.03.31 |
| 申请人 |
NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY |
发明人 |
AKIRA UMEDA |
| 分类号 |
H05B33/10;G01N3/30;G01N3/62;G01P15/08;G01P15/097;G01P21/00;G09F9/00;G09F9/30;H01L21/336;H01L23/12;H01L27/32;H01L29/786;H01L51/50;H05B33/14;(IPC1-7):G01P21/00 |
主分类号 |
H05B33/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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