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发明名称 Hochreine leitende Filme und ihre Anwendung in Halbleiteranordnungen
摘要
申请公布号 DE69233201(D1) 申请公布日期 2003.10.23
申请号 DE19926033201 申请日期 1992.01.24
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 ISHIGAMI, TAKASHI;SATOU, MICHIO;OBATA, MINORU;MIYAUCHI, MASAMI;KAWAI, MITUO;YAMANOBE, TAKASHI;YAGI, NORIAKI;MAKI, TOSHIHIRO;ANDO, SHIGERU;KOHANAWA, YOSHIKO
分类号 H01L29/47;(IPC1-7):H01L29/47 主分类号 H01L29/47
代理机构 代理人
主权项
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