发明名称 APPARATUS AND PROCESS FOR THE PREPARATION OF LOW-IRON CONTAMINATION SINGLE CRYSTAL SILICON
摘要
申请公布号 EP1354080(A2) 申请公布日期 2003.10.22
申请号 EP20010993356 申请日期 2001.12.07
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. 发明人 SREEDHARAMURTHY, HARIPRASAD;BANAN, MOHSEN;HOLDER, JOHN, D.
分类号 C30B29/06;C30B15/00;(IPC1-7):C30B15/00;C30B35/00;H01L21/00 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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