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发明名称
APPARATUS AND PROCESS FOR THE PREPARATION OF LOW-IRON CONTAMINATION SINGLE CRYSTAL SILICON
摘要
申请公布号
EP1354080(A2)
申请公布日期
2003.10.22
申请号
EP20010993356
申请日期
2001.12.07
申请人
MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC.
发明人
SREEDHARAMURTHY, HARIPRASAD;BANAN, MOHSEN;HOLDER, JOHN, D.
分类号
C30B29/06;C30B15/00;(IPC1-7):C30B15/00;C30B35/00;H01L21/00
主分类号
C30B29/06
代理机构
代理人
主权项
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