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发明名称 Metalorganic chemical vapour deposition precursors
摘要
申请公布号 GB2355262(B) 申请公布日期 2003.10.22
申请号 GB20000017886 申请日期 2000.07.21
申请人 * INORGTECH LIMITED 发明人 ANTHONY COPELAND * JONES
分类号 C07C45/77;C07C49/92;(IPC1-7):C07C45/77;C07F3/00;C23C16/40 主分类号 C07C45/77
代理机构 代理人
主权项
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