| 发明名称 |
Lewis Addukte von Aluminium Organylen zur Erzeugung aluminiumhaltiger Schichten durch Gasphasenabscheidung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60005087(D1) |
申请公布日期 |
2003.10.16 |
| 申请号 |
DE20006005087 |
申请日期 |
2000.06.06 |
| 申请人 |
ROHM AND HAAS CO., PHILADELPHIA |
发明人 |
SHIN, HUYN-KOOCK |
| 分类号 |
C07D295/02;C07F5/00;C07F5/06;C23C16/20;C23C16/40;H01L21/285;(IPC1-7):C07F5/06 |
主分类号 |
C07D295/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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