| 发明名称 | 正型化学放大型光阻组成物 | ||
| 摘要 | 一种正型化学放大型光阻组成物，其包括交联剂、酸产生剂与本身不溶或难溶于碱性水溶液，但在酸的作用下会裂解且具有保护基，此保护基在裂解后使其转变成可溶于碱性水溶液的树脂组成物。此正型化学放大型光阻组成物可维持高敏感度与成膜率，又同时保有高分辨率。 | ||
| 申请公布号 | CN1448793A | 申请公布日期 | 2003.10.15 |
| 申请号 | CN03121330.8 | 申请日期 | 2003.03.26 |
| 申请人 | 住友化学工业株式会社 | 发明人 | 难波克彦;中西润次;上谷保则 |
| 分类号 | G03F7/039 | 主分类号 | G03F7/039 |
| 代理机构 | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人 | 王学强 |
| 主权项 | 1.一种正型化学放大型光阻组成物，其特征是，其包括：一交联剂：一酸产生剂；以及一树脂，该树脂本身为不溶或难溶于一碱性水溶液，但经由酸的作用下裂解而具有一保护基，该保护基裂解后就会转变成可溶于该碱性水溶液。 | ||
| 地址 | 日本大阪市 | ||