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发明名称 MIXED FREQUENCY CVD PROCESS AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1036214(B1) 申请公布日期 2003.10.15
申请号 EP19980960368 申请日期 1998.11.25
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 RAOUX, SEBASTIEN;MUDHOLKAR, MANDAR;TAYLOR, WILLIAM, N.;FODOR, MARK;HUANG, JUDY;SILVETTI, DAVID;CHEUNG, DAVID;FAIRBAIRN, KEVIN
分类号 H05H1/46;C23C16/505;C23C16/509;C23C16/517;H01J37/32;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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