发明名称 An integrated circuit-integrated flexible shear-stress sensor skin
摘要
申请公布号 AU2003247333(A8) 申请公布日期 2003.10.13
申请号 AU20030247333 申请日期 2003.03.31
申请人 CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 YU-CHONG TAI;YONG XU
分类号 A61B5/103;B81C1/00;G01L9/00;G01M9/06;H01L;H01L21/00;H01L21/311;H01L51/40;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 A61B5/103
代理机构 代理人
主权项
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