发明名称 SWINGING OBJECTIF RETARDING IMMERSION LENS ELECTRON OPTICS FOCUSING, DEFLECTION AND SIGNAL COLLECTION SYSTEM AND METHOD
摘要
申请公布号 AU2002330873(A1) 申请公布日期 2003.10.08
申请号 AU20020330873 申请日期 2002.03.21
申请人 HERMES-MICROVISION, INC. 发明人 ZHONG-WEI CHEN
分类号 H01J37/141;G01N23/00;G21G5/00;H01J3/14;H01J3/26;H01J37/147;H01J37/244;H01J37/28;H01J47/00 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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