发明名称 基体之涂膜装置
摘要 本发明为关于产生电浆装置之电极组态。在一涂层设施载子背面深入一黑暗空间距离处,经由一非接触性的电容性耦合放置一射频(RF)电极。在涂层边上的黑暗空间屏蔽定义了电浆带且能防止寄生电浆的形成。如此可在具有一定范围电浆带的移动基质载体上,形成一高频(HF)基质偏压且可防止寄生电浆的扩展。
申请公布号 TW240327 申请公布日期 1995.02.11
申请号 TW083100619 申请日期 1994.01.25
申请人 蓝伯德公司 发明人 布尔克哈特欧里弗;吉根华特瑞纳;艾诺德曼弗瑞德;贝兰格古道;雪尔麦克;麦克可劳斯;瑞特乔治
分类号 H01L21/20;H05H1/38 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人 郑自添 台北巿敦化南路二段七十七号八楼
主权项 端之外部与内部;f.一摄影装置,固设于壳体内且在 光线 上系对准于导光件,用以接收自管端反射穿过导光 件之光 线,并产生管端之影像资料;及g.一传送装置,以电 路连 接于摄影装置,用以自摄影装置传送管体影像资料 至一远 处。2.根据申请专利范围第1项之影像检视工具,其 中外部镜 面包含一截头锥形部,其具有一向内转向轴线之镜 面,用 以将管端之外部光线反射至摄影装置。3.根据申 请专利范围第1项之影像检视工具,其中内部镜 面包含一截头锥形部,其具有一自轴线向外转之镜 面,用 以将管端之内部光线反射至摄影装置。4.根据申 请专利范围第1项之影像检视工具,其中导光件 具有一中平面,导光件即概略以中平面向内转向轴 线。5.根据申请专利范围第1项之影像检视工具,其 中外部镜 面具有一靠近照明装置之切口部,其中切口部可供 照明装 置之光线通向导光件。6.根据申请专利范围第1项 之影像检视工具,其中内部镜 面自一中心定位于导光件内之轴上伸出。7.根据 申请专利范围第1项之影像检视工具,其中内部镜 面具有一顶部及一相对之底部,镜之顶部固接一筒 管形探 针,探针之大小形状适可进出管端,其中管形探针 将内部 镜面导至管端内之一正确位置。8.根据申请专利 范围第1项之影像检视工具,其更包含一 令摄影装置对焦之装置。9.根据申请专利范围第8 项之影像检视工具,其中令摄影 装置对焦之装置包含一驱动齿轮与啮合之从动齿 轮,驱动 、从动齿轮接近于摄影装置之透镜,用以沿轴向移 动透镜 。10.根据申请专利范围第1项之影像检视工具,其 中在壳 体内提供光线之照明装置包含一熔丝灯。11.根据 申请专利范围第10项之影像检视工具,其中熔丝 灯藉一灯座而接于壳体。12.根据申请专利范围第1 项之影像检视工具,其中更包 含一操作件及一将壳体接于操作件之连接装置。 13.根据申请专利范围第1项之影像检视工具,其中 更包 含一监视装置,用以接收来自摄影装置之影像资料 并产生 视觉影像。14.一种影像检视工具,用于检视一管形 件之末端,管端 具有一外部及一内部,包含:a.一壳体,具有一内侧 ﹑一 外侧﹑一底部﹑一相对之顶部及一伸过顶﹑底部 之轴线; b.一照明装置,用以提供光线于壳体内;c.一导光件, 设 于壳体内且近顶部处,导光件具有一透明底部及一 相对之 顶部,其中导光件将光线自照明装置导向壳体顶部 :d.一 外部镜面,设于导光件顶部,其大小形状适可围绕 管端周 侧;外部镜面具有一截头锥形部,该部具有一向内 转向轴 线之镜面;e.一内部镜面,设于导光件顶部且支承于 壳体 轴线上,内部镜面具有一截头锥形部,该部具有一 自轴线 向外转之镜面,其中内部镜面之大小形状适可进出 管端, 使导光件导向壳体顶部之光线可同时自外﹑内部 镜面分别 反射至管端之外部与内部;f.一摄影装置,接设于壳 体内 ,用以接收自管端反射穿过导光件之光线,并产生 管体之 影像资料,摄影装置具有一透镜,透镜具有一顶部 及一相 对之底部,其中透镜之顶部对准并接收穿过导光件 底部之 反射光线;及g.一传送装置,以电路连接于摄影装置 ,用 以自摄影装置传送管体影像资料至一远处。15.根 据申请专利范围第14项之影像检视工具,其中内部 镜面从管端之内部将光线反射至摄影装置。16.根 据申请专利范围第14项之影像检视工具,其中外部 镜面从管端之外部将光线反射至摄影装置。17.根 据申请专利范围第14项之影像检视工具,其中导光 件包含一外表面及一中平面,导光件外表面于中平 面处向 内转向轴线。18.根据申请专利范围第14项之影像 检视工具,其中外部 镜面具有一靠近照明装置之切口部,其中切口部可 供照明 装置之光线通向导光件。19.根据申请专利范围第 14项之影像检视工具,其中一轴 接内部镜面之底部,该轴系中心定位于导光件中。 20.根据申请专利范围第14项之影像检视工具,其中 内部 镜面具有一顶部及一相对之底部,镜之顶部固接一 筒管形 探针,探针之大小形状适可进出管端,其中管形探 针将内 部镜面导至管端内之一正确位置。21.根据申请专 利范围第14项之影像检视工具,其更包含 一令摄影装置对焦之装置。22.根据申请专利范围 第21项之影像检视工具,其中令摄 影装置对焦之装置包含一驱动齿轮与啮合之从动 齿轮,驱 动﹑从动齿轮接近摄影机装置之透镜,用以沿轴向 移动透 镜。23.根据申请专利范围第14项之影像检视工具, 其更包含 一操作件及一将壳体接于操作件之连接装置。24. 根据申请专利范围第14项之影像检视工具,其更包 含 一监视装置,用以接收来自摄影装置之影像资料并 产生视 觉影像。25.一种影像检视工具,用于检视蒸汽产生 器管片中之管 端,管端具有一外部及一内部,包含a.一壳体,具有 一内 侧﹑一外侧﹑一底部﹑一相对之顶部及一伸过顶 ﹑底部之 轴线;b.一照明装置,用以提供光线于壳体内;c.一导 光 件,设于壳体内且近顶部处,导光件具有一透明顶 部及一 相对之顶部,其中导光件将光线自照明装置导向壳 体顶部 ,又其中导光件包含一中平面,导光件于其中平面 处向内 转向轴线;d.一外部镜面,设于导光件顶部,其大小 形状 适可围绕管端周侧;外部镜面具有一截头锥形部, 该部具 有一向内转向轴线之镜面;外部镜面具有一靠近照 明装置 之切口部,其中切口部可供照明装置之光线通向导 光件; e.一内部镜面,设于导光件顶部且支承于壳体轴线 上,内 部镜面具有一截头锥形部,该部具有一自轴线向外 转之镜 面,其中内部镜面之大小形状适可进出管端,使导 光件导 向壳体顶部之光线可同时自外﹑内部镜面分别反 射至管端 之外部与内部;f.一摄影装置,接设于壳体内,用以 接收 自管端反射穿过导光件之光线,并产生管体之影像 资料, 摄影装置具有一透镜,透镜具有一顶部及一相对之 底部, 其中透镜之顶部对准并接收穿过导光件底部之反 射光线; g.其中内部镜面与外部镜面分别自管端之内﹑外 部将光线 反射向摄影机装置;h.一传送装置,以电路连接于摄 影装 置,用以自摄影装置传送管体影像资料至一远处; 及i.一 监视装置,用以接收来自摄影装置之影像资料并产 生视觉 影像。26.根据申请专利范围第25项之影像检视工 具,其中一轴 接于内部镜面之底部,该轴系中心定位于导光件中 。27.根据申请专利范围第25项之影像检视工具,其 中内部 镜面具有一顶部及一相对之底部,镜之顶部固接一 筒管形 探针,探针之大小形状适可进出管端,其中管形探 针将内 部镜面导至管端内之一正确位置。28.根据申请专 利范围第25项之影像检视工具,其更包含 一令摄影装置对焦之装置。29.根据申请专利范围 第28项之影像检视工具,其中令摄 影装置对焦之装置包含一驱动齿轮与啮合之从动 齿轮,驱 动﹑从动齿轮接近摄影机装置之透镜,用以沿轴向 移动透 镜。30.根据申请专利范围第25项之影像检视工具, 其更包含 一操作件及一将壳体接于操作件之连接装置。图1 系一核 子蒸汽产生器管片区及一接有本发明末端动作件 之遥控操 作件(此为习知技术)之示意图。图2系一末端动作 件之侧 视图,如同将一影像检视工具接于操作件。图3系 沿图2 之3-3线所取之检视工具局部截面图,揭示设于管端 内 之工具。图4系接于操作件之检视工具顶面图。图 5系检 视工具一部分之局部截面图,即一管形探针﹑一外 部镜面 及一摄影机,揭示管形探针插入管端,且有三道光 线延伸 于管端与摄影机之间。图6系远处技术人员于其监 视器上 所看到之三道光线视图。图7系沿图5之7-7线所取 之 一填充管体截面图,其中已移除工具以利说明清楚 。图8 系一外部镜面之截面图。图9系外部镜面之顶视图 。图10 系导光件之侧视图。图11系支持于外部镜面内之 导光件顶
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