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发明名称 Selbstausgerichtes vergrabenes Band für DRAM Grabenzellen
摘要
申请公布号 DE69431867(T2) 申请公布日期 2003.10.02
申请号 DE19946031867T 申请日期 1994.10.07
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK 发明人 BRONNER, GARY BELA;KENNEY, DONALD MCALPINE;DEBROSSE, JOHN KENNETH
分类号 H01L21/76;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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