发明名称 AN ADRESSING METHOD OF MOVEABLE MICROELEMENTS IN A SPATIAL LIGHT MODULATOR (SLM) FOR PATTERING OF A WORKPIECE
摘要
申请公布号 AU2003212763(A1) 申请公布日期 2003.09.29
申请号 AU20030212763 申请日期 2003.03.14
申请人 MICRONIC LASER SYSTEMS AB;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 PETER DUERR;ULRIC LJUNGBLAD;TORBJORN SANDSTROM
分类号 G02B26/08;(IPC1-7):G02B26/08 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
主权项
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