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发明名称 HARD MASK PROCESS FOR MEMORY DEVICE WITHOUT BITLINE SHORTS
摘要
申请公布号 AU2003212824(A1) 申请公布日期 2003.09.29
申请号 AU20030212824 申请日期 2003.01.21
申请人 FUJITSU LIMITED;ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 JEAN, Y. YANG;MARK, T. RAMSBEY;HIDEHIKO SHIRAIWA;YIDER WU;EMMANUIL LINGUNIS;TAZRIEN KAMAL
分类号 H01L21/8246;H01L27/115;(IPC1-7):H01L27/112;H01L21/335 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
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