| 发明名称 |
Verfahren zur Bestimmung der Generationslebensdauer und der effektiven Oberflächengenerationsgeschwindigkeit |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19815114(C2) |
申请公布日期 |
2003.09.25 |
| 申请号 |
DE19981015114 |
申请日期 |
1998.04.03 |
| 申请人 |
WACKER SILTRONIC AG |
发明人 |
SORGE, ROLAND;GRABMEIER, JOSEF |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;G01R29/24;G01N13/00;G01N27/00 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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