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发明名称 ALD METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 AU2003220088(A1) 申请公布日期 2003.09.22
申请号 AU20030220088 申请日期 2003.03.07
申请人 SUNDEW TECHNOLOGIES, LLC 发明人 OFER SNEH
分类号 C23C16/02;C23C16/14;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
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