| 主权项 |
1.一种偕同一支承装置用于支承制造设备之设备连接定位器,其至少包含:一流体密封桶,具有:一底面;复数个侧壁,由该底面向上延伸;一装设机构,适于装设该流体密封桶至一用于支承制造设备之支承装置,以致该流体密封桶具有相对于该支承装置在一x轴、一y轴及一z轴上之固定位置;及至少一流体连接端口,形成在该流体密封桶内。2.如申请专利范围第1项所述之设备连接定位器,其中该流体密封桶更包含一真空连接端口及一围绕该真空连接端口之流体密封竖板。3.如申请专利范围第2项所述之设备连接定位器,其中更包含一经由该真空连接端口之真空连接管线,及具有一顶面及离该顶面一预定距离的一定位凸缘,该定位凸缘被耦接至该流体密封竖板,以固定该真空连接管线之该顶面在相对于该流体管线竖板的一预定高度。4.如申请专利范围第3项所述之设备连接定位器,其中更包含一由该流体密封竖板围绕之设备连接定位器板,及具有可移式嵌板,使设备管线可经由其延伸。5.如申请专利范围第4项所述之设备连接定位器,其中更包含一流体连接管线,具有经由该流体连接管线端口延伸之流体管线;及具有由该流体管线沿该桶的底面之一内侧水平延伸的一平面;及位于该平面及该桶的底面之内侧间的O形环;及一螺帽螺接至该流体管线以便稳固地夹持该O形环靠向该桶之底面,在其间形成一流体密封。6.如申请专利范围第2项所述之设备连接定位器,其中更包含一由一流体密封竖板围绕之设备连接定位器,及具有可移式嵌板,使设备管线可经由其延伸。7.如申请专利范围第6项所述之设备连接定位器,其中更包含一流体连接管线具有经由该流体连接管线端口延伸之流体管线,及具有一由该流体管线沿该桶的底面之一内侧水平延伸的平面;及位于该平面及该桶的底面之内侧间的O形环;及一螺帽沿该桶底面之外侧螺接至该流体管线。8.如申请专利范围第1项所述之设备连接定器位,其中更包含一由一流体密封竖板围绕的设备连接定位器,及具有可移式嵌板,使设备管线可经由其延伸。9.如申请专利范围第1项所述之设备连接定位器,其中更包含一流体连接管线,具有经由该流体连接管线端口延伸之流体管线,及具有由该流体管线沿该桶的底面之一内侧水平延伸的一平面;及位于该平面及该桶的底面之内侧间的O形环;及一螺帽沿该桶的底面之外侧螺接至该流体管线。10.如申请专利范围第1项所述之设备连接定位器,其中该流体密封桶更包含一围绕至少一流体连接端口之流体密封竖板。11.如申请专利范围第10项所述之设备连接定位器,其中该流体密封桶更包含一真空连接端口及一围绕该流体连接端口之流体密封竖板。12.如申请专利范围第11项所述之设备连接定位,其中更包含一由一流体密封竖板围绕之设备连接定位器板,及具有可移式嵌板,使设备管线可经由其延伸。13.如申请专利范围第1项所述之设备连接定位器,其中更包含一真空连接端口及一经由该真空连接端口向上延伸至一预定高度的真空连接管线,而后焊接至该流体密封桶。14.如申请专利范围第1项所述之设备连接定位器,其中更包含一流体连接管线,经由该至少一流体连接端口向上延伸至一预定高度,而后焊接至该流体密封桶。15.如申请专利范围第14项所述之设备连接定位器,其中更包含一真空连接端口及一经由该真空连接端口向上延伸至一预定高度的真空连接管线,而后焊接至该流体密封桶。16.如申请专利范围第13项所述之设备连接定位器,其中更包含一由一流体密封竖板围绕之设备连接定位器,及具有可移式嵌板,使设备管线可经由其延伸。17.如申请专利范围第14项所述之设备连接定位器,其中更包含一由一流体密封竖板围绕的设备连接定位器,及具有可移式嵌板,使设备管线可经由其延伸。18.如申请专利范围第15项所述之设备连接定位器,其中更包含一由一流体密封竖板围绕的设备连接定位器,及具有可移式嵌板,使设备管线可经由其延伸。19.一种制造设备之支承装置,其具有一底部外形及沿该设备底部外形置放的复数个承重装设脚,并至少包含:复数个支承脚,包括至少一支承脚对准每一该复数之承重装设脚;一框架,置放在该复数之支承脚上,该框架具有一框架外形实质上系复制该制造设备之该底部外形;及一设备连接定位器耦接至该支承装置,至少包含:一流体密封桶,具有:一底面;复数个侧壁,由该底面向上延伸;至少一流体连接端口,形成于该流体密封桶内;及一装设机构,装设该流体密封桶至该支承装置,致使该流体密封桶具有相对于该支承装置在一x轴、一y轴及一z轴上之固定位置。20.一种制造设备之支承装置,其具有一底部外形及沿该设备底部外形置放的复数个承重装设脚,并至少包含:复数个支承脚,包括至少一支承脚对准每一该复数之承重装设脚;一框架,置放在该复数之支承脚上,该框架具有一框架外形实质上系复制该制造设备之该底部外形;及一板,至少部份占据该框架外形的一内部区域及具有复数个开口,适于减低介于该板下方一区域及该盘上方区域间的气流。21.一种偕同一支承装置用于支承制造设备之设备连接定位器,其至少包含:一流体密封桶,具有:一底面;复数个侧壁,由该底面向上延伸;一装设机构,适于装设该流体密封桶至一用于支承制造设备之支承装置,以致该流体密封桶具有相对该支承装置而在一x轴、一y轴及一z轴上之固定位置;及至少一流体连接端口,形成在该流体密封桶内;一真空连接端口;一流体密封竖板,其围绕该真空连接端口,该流体密封竖板具有一形成于其内的复数之开口;一流体管线经由该真空连接端口延伸且固接至该流体密封竖板,其至少包含:一顶面;及一定位凸缘,位于该顶面下方一固定距离,且适于经由延伸通过复数个开口的复数个物件固设于相关该流体密封竖板的一位置;复数个物件,延伸通过该复数之开口,以接触该定位凸缘而因此固定该流体管线于相关该流体密封竖板的一位置。22.一种对制造设备之安装加以预先便捷化的方法,其至少包含下列步骤:提供一具有一顶面之制造设备支承;提供一设备连接定位器,至少包含一流体密封桶,具有装设机构用于耦合该流体密封桶至支承之顶面,及具有(1)一用于装设一流体连接管线至该流体密封桶之机构,用以使该流体管线的一顶面伸出相对于该支承顶面的一预定高度;及(2)一用于装设一真空连接管线至该流体密封桶之机构,用以使该真空管线的一顶面伸出至相对于该支承顶面的一预定高度;及耦接一设备连接定位器至该支承之该顶面。23.如申请专利范围第1项所述之设备连接定位器,其中更包含一流体液面侦测器,适于侦测位于流体密封桶内的一液面是否到达一预定程度。24.如申请专利范围第1项所述之设备连接定位器,其中更包含一流体排放口。25.如申请专利范围第1项所述之设备连接定位器,其中更包含一泵耦接至该流体密封桶,以便由该桶泵出流体。图式简单说明:第1图系根据先前技艺安装于一制造地点之制造设备的上视立体图;第2图系经揭示的SEMI长方形支承基座安装于一制造地点之上视立体图;第3图系装设有制造设备之SEMI长方形支承基座之上视立体图;第4图系根据本发明一具体实施例之支承基座的上视立体图;第5图系第4图之支承基座的上视立体图,其安装于一制造地点并且有制造设备主机附装于其中;第6图系根据本发明另一具体实施例之支承基座安装于一制造地点之上视立体图;第7图系第6图之支承基座之上视立体图,其安装于一工厂地点并有制造设备装设于其上;第8图系根据本发明之支承基座之上视立体图,其安装于一架高地板下;第9图系第8图中装设有制造设备的具体实施例之侧视图;第10图系在本发明一设备连接定位器中的鹅颈管连接器之侧视图;第11图系一制造设备支承装置之上视等轴图,显示一改良之设备连接定位器耦接于其中;第12图系第11图中设备连接定位器之上视等轴爆炸详图;第13图系第11图中一设备连接管线之下侧等轴视图;第14图系显示第13图中以固设方式耦接于一设备连接端口之设备连接管线的侧视图;第15A图系一第一流体管线连接器之底视等轴图;第15B图系一第二流体管线连接器之底视等轴图;第16图系第11图中设备连接定位器之底视等轴爆炸详图;第17图系第11图中设备连接定位器的一等轴放大图,选定之上视角可较清楚地显示其中一围绕设备连接板的竖板;及第18图系一制造设备之上视等轴,显示一改良设备连接定位器连结于其中及具有未显示于第11图中之其它特点。 |
