| 主权项 |
1.一种正型光阻组成物,其包含50-99重量%的树脂,该树脂藉酸之作用而自硷不可溶性或硷难溶性转化成硷可溶性;0.05-20重量%的酸生成剂;0.01-20重量%的由下式(Ⅰ)所示之含氮环状化合物:其中X系表示CH2或C(=O),R1.R2.R3及R4中之两种系表示C1-C4烷基,而其余两种系表示氢;0.001-10重量%的骤冷剂;及溶剂。2.如申请专利范围第1项之正型光阻组成物,其中藉由酸之作用由硷不可溶性或硷难溶性转化成硷可溶性之树脂系包含聚乙烯基酚树脂,其中一部分酚羟基系由1-烷氧基烷基所保护。3.如申请专利范围第2项之正型光阻组成物,其中该1-烷氧基烷基系选自1-乙氧基乙基、1-丙氧基乙基、1-(2-甲基丙氧基)乙基及1-乙氧基丙基。4.如申请专利范围第1项之正型光阻组成物,其中该含氮环状化合物系为1,3-二甲基-2-咪唑酮。5.如申请专利范围第1项之正型光阻组成物,其中该含氮环状化合物系为5,5-二甲基乙内醯。6.如申请专利范围第1项之正型光阻组成物,其另外包含作为骤冷剂之胺化合物。7.如申请专利范围第6项之正型光阻组成物,其中该胺系为三级胺。 |
