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发明名称 Metalleitung für eine Halbleitereinrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE19836163(C2) 申请公布日期 2003.09.18
申请号 DE1998136163 申请日期 1998.08.10
申请人 LG SEMICON CO., LTD. 发明人 KIM, CHANG YONG
分类号 H01L27/108;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/3213;H01L21/8242;H01L23/528;H01L23/532;(IPC1-7):H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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