| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING METAL OXIDE LAYERS HAVING A PRE-DEFINED STRUCTURE BY WAY OF ARC EVAPORATION |
| 摘要 |
본 발명은 금속 및 반금속 성분의 삼차 및 그 이상의 산화물을 포함하는 층을 생성하기 위한 방법으로서, 상기 산화물의 형성 온도가, (상 다이어그램에 기초하여) 이원(또는 더 높은) 합금 타겟의 조성을 통해 기본적으로 결정될 수 있는 것을 특징으로 하는 방법에 관한 것이다. |
| 申请公布号 |
KR101629909(B1) |
申请公布日期 |
2016.06.13 |
| 申请号 |
KR20107026388 |
申请日期 |
2009.02.06 |
| 申请人 |
오를리콘 서피스 솔루션스 아크티엔게젤샤프트, 페피콘 |
发明人 |
람, 위르겐 |
| 分类号 |
C23C14/08;C23C14/32;C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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