| 摘要 |
본 발명은 마그네트론 스퍼터링 어노드 바를 위한 지지부재 및 이 지지부재를 구비한 마그네트론 스퍼터링 장치에 관한 것이다. 지지부재는 지지 바와, 지지 바에 고정적으로 연결될 수 있는 스퍼터링 쉴드를 포함한다. 지지 바의 제1 단부는 어노드 바와 협력하는 지지단으로 구성되고, 제2 단부는 지지 바가 스퍼터링 쉴드의 장착홀로부터 분리되는 것을 방지하도록 장착홀에 고정적으로 연결될 수 있는 장착단으로 구성된다. 장착단의 단면은 지지 바의 본체부의 단면에 비해 더 작다. 본 발명에 따른 지지부재의 지지 바는 예기치 않은 분리 없이 스퍼터링 쉴드에 고정적으로 연결될 수 있다. |
