| 发明名称 |
Drying resist with a solvent bath and supercritical co2 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003217547(A8) |
申请公布日期 |
2003.09.09 |
| 申请号 |
AU20030217547 |
申请日期 |
2003.02.14 |
| 申请人 |
SUPERCRITICAL SYSTEMS INC. |
发明人 |
PAUL SHILLING;ALLAN WENDELL AWTREY;NICHOLAS ALAN RYZA;CHANTAL J. ARENA-FOSTER |
| 分类号 |
B81C1/00;F26B3/00;F26B5/06;G03F7/40;(IPC1-7):G03C5/00;B08B3/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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