| 发明名称 |
Method of controlling metal etch processes, and system for accomplishing same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002364910(A8) |
申请公布日期 |
2003.09.09 |
| 申请号 |
AU20020364910 |
申请日期 |
2002.12.18 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES, INC. |
发明人 |
KEVIN R. LENSING;MATTHEW A. PURDY;JAMES BROC STIRTON |
| 分类号 |
G01N21/95;H01L21/00;H01L23/544;(IPC1-7):H01L21/66;G03F7/20;G01N21/956;G01N21/47 |
主分类号 |
G01N21/95 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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