发明名称 |
EMISSION LAYER FORMED BY RAPID THERMAL FORMATION PROCESS |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2003213222(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.09 |
申请号 |
AU20030213222 |
申请日期 |
2003.02.21 |
申请人 |
HEWLETT-PACKARD COMPANY |
发明人 |
ZHIZHANG CHEN;SRIRAM RAMAMOORTHI |
分类号 |
H01J1/312;H01J9/02;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01J1/312 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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