| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR HEAT TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003211416(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.09 |
| 申请号 |
AU20030211416 |
申请日期 |
2003.02.21 |
| 申请人 |
FUTEK FURNACE INC. |
发明人 |
MINORU KANDA;WATARU KANADA;HIROTO UENO;KAZUO MIWA;KENJI KOMURO |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/02;H01L43/12;H01L27/10;H01F10/00;H01F41/00;F27B5/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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