发明名称 VERFAHREN FÜR VERBESSERTE WASSERDAMPF-LADUNGSTEILCHENSTRAHLBEARBEITUNG
摘要
申请公布号 DE69625050(T2) 申请公布日期 2003.09.04
申请号 DE19966025050T 申请日期 1996.04.08
申请人 NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY, RALEIGH 发明人 RUSSELL, E.;GRIFFIS, P.;SHEDD, M.;STARK, J.;VITARELLI, JAMES
分类号 C23F4/00;H01J37/305;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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