METHOD FOR THERMALLY TREATING SUBSTRATES,申请号EP20010990451-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR THERMALLY TREATING SUBSTRATES
摘要
申请公布号	EP1340244(A2)	申请公布日期	2003.09.03
申请号	EP20010990451	申请日期	2001.11.28
申请人	STEAG HAMATECH AG	发明人	SZEKERESCH, JAKOB;DRESS, PETER;DIETZE, UWE;SAULE, WERNER;SAULE WERNER C O STEAG HAMATEC
分类号	H05B3/00;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	H05B3/00
代理机构		代理人
主权项
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